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    Pfeiffer 四級桿質譜分析儀 PrismaPlus
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    Pfeiffer 四級桿質譜分析儀 PrismaPlus

    殘余氣體分析質譜儀 PrismaPlus--四級桿質譜分析儀
    上海伯東代理德國 Pfeiffer 殘余氣體質譜 QMG系列,模塊化設計,質量數范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件。殘余氣體質譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲,適用于多種測量用途,使用壽命長。
    Pfeiffer 四極質譜儀 PrismaPlus 主要優勢:
    1. 模組化設計提供了產品最好的適應性
    2. 結構緊湊,性能出眾
    3. 多種介面,系統集成簡單
    4. 可通過乙太網網路化
    5. 測試過程快速穩定,解析度高
    6. 分析器以及電子的可替換性
    7. 雙燈絲設計保證最大的可靠性
    8. 最低的可檢測分壓達1 x 10E-14 mbar
    9. 配置Quadera®軟體,操作直觀
    殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術參數:

    型號

    QMG 220 F1

    QMG 220 F2

    QMG 220 F3

    QMG 220 M1

    QMG 220 M2

    QMG 220 M3

    檢測器

    法拉第 Faraday (F)

    電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

    質量數 amu

    1–100

    1–200

    1–300

    1–100

    1–200

    1–300

    四極桿直徑/長度

    6/100 mm

    最小檢測極限 F mbar

    1X10-12

    2X10-12

    4X10-12

    5X10-12

    1X10-11

    2X10-11

    最小檢測極限 M mbar

    -

    -

    -

    1X10-14

    < 2X10-14

    < 4X10-14

    對Ar的靈敏度 F A/mbar

    1X10-3

    6X10-4

    3X10-4

    5X10-4

    3X10-4

    1.5X10-4

    對Ar的靈敏度 M A/mbar

    -

    -

    -

    200

    200

    100

    最大工作壓力 F

    1X10-4 mbar

    最大工作壓力 M mbar

    -

    -

    -

    1X10-5

    1X10-5

    1X10-5

    對臨近質量數的影響

    < 10 ppm

    < 20 ppm

    < 50 ppm

    < 10 ppm

    < 20 ppm

    < 50 ppm

    操作溫度 F

    150 °C

    烘烤溫度 F

    200 °C / 300 °C

    連接法蘭

    DN 40 CF-F

    重量

    2.4 kg

    2.4 kg

    2.4 kg

    3.8 kg

    3.8 kg

    3.8 kg

                         

    殘余氣體分析質譜儀應用四極質譜儀 QMG非常適合于檢漏,殘氣分析以及綜合定量分析
    1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導體生產 6. 玻璃鍍膜 7. 研發 8. 真空工藝

    上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例一:分子束外延 MBE 氣體分析
    Pfeiffer 質譜應用
    上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例二:對 XPS 系統的分析室殘余氣體進行定性和半定量分析
    上海伯東德國 Pfeiffer
    上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例三:分析真空釬焊過程中產生的氣體成分和含量
    普發質譜應用

    1.設計緊湊
    PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質譜儀。該四極質譜儀積累了豐富的應用經驗,高靈敏度,高穩定性和智慧化操作的完美結合是 PrismaPlusTM 四極質譜儀新的優點。在適用中客戶將感受到它堅固,緊湊的設計和簡單的系統集成,并從中受益。
    2.應用范圍廣闊
    通過可選擇質量數范圍,檢測器、離子源和介面介面等,該四極質譜儀可以應用于多個領域,例如:工業和分析領域、研發、檢漏、半導體生產以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質譜儀是從品質保證,殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應用領域的最佳方案。
    3.檢測速度快,靈敏度高
    PrismaPlusTM 四極質譜儀可 以在三個不同的質量數范圍(1-100,1-200,1-300 amu)內,下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結果。在真空系統中,配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀,即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外,直接增加一個壓力量規,PrismaPlusTM 四極質譜儀就可以作為一個精確的全壓監控器使用。
    4.智慧化的軟體
    Quadera 軟體不僅操作簡單,它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數記錄的易讀平臺。結合多種可供選擇的介面介面,例如乙太網,數位式和類比式輸入輸出,可以方便地集成到各種系統中去。輕點滑鼠就可以啟動預設的功能。
     

    PrismaPlusTM 四極質譜儀尺寸及配件:


    Pfeiffer 氣體質譜分析儀:上海伯東真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,我司是國內最早代理 Pfeiffer 產品的公司,100% 原裝進口并提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售后維修服務。

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