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    氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
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    氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

    Pfeiffer 氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
    脈沖激光沉積系統 PLD
    脈沖激光沉積系統 Pulsed laser deposition 是制備高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多層異質結構和超晶格結構的物理氣相沉積設備, 通常需要保證本底真空度達到 10-8mbar, 同時高真空環境對系統配置的 RHEED 及溫控系統等關鍵設備的壽命也至關重要.

    脈沖激光沉積系統 PLD 需要檢漏原因
    PLD 系統需要高真空環境, 腔室是否有泄露, 是否有內部材料放氣等因素對實現高真空及超高真空很關鍵. 因此需要對整個系統進行泄漏檢測. 氦質譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 因此廣泛應用于 PLD 設備檢漏.

    脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏客戶案例: 上海伯東某客戶 PLD 設備用來制備各種材料, 為了保證產品質量, 采購氦質譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.

    生長多層膜(TiN/ALN)結構, 各層膜厚度可調

    高通量制備具有不同材料成分的100種材料

    PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料

    氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

    氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

    氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏


    脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏方法
    采用真空模式檢漏, 通過波紋管連接需要檢漏的腔體, 設定好需要的漏率值
    在懷疑有漏的地方噴氦氣(一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處),如果有漏,檢漏儀會出現聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.
    氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
    上海伯東推薦 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340 三種類型可選

    型號

    ASM 340 WET

    ASM 340 D

    ASM 340 I

    對氦氣的最小檢測漏率, 真空模式

    5E-13 Pa m3/s

    5E-13 Pa m3/s

    5E-13 Pa m3/s

    檢測模式

    真空模式和吸槍模式

    真空模式和吸槍模式

    真空模式和吸槍模式

    檢測氣體

    4He, 3He, H2

    4He, 3He, H2

    4He, 3He, H2

    對氦氣的抽氣速度 l/s

    2.5

    2.5

    2.5

    進氣口最大壓力 hPa

    25

    25

    5

    前級泵抽速 m3/h

    油泵 15

    隔膜泵 3.4

    不含前級泵

    重量 kg

    56

    45

    32

    結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>

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