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    殘余氣體分析儀 PrismaPro
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    殘余氣體分析儀 PrismaPro

    Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro
    上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘余氣體成分. 最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.

    Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
    模塊化設計保證最佳兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統集成
    分析儀器和電子單元可靈活互換
    雙燈絲延長工作時間
    最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa
    可直接連接真空計, 方便測量壓力
     

    Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:

    型號

    QMG 250 F1

    QMG 250 F2

    QMG 250 F3

    QMG 250 M1

    QMG 250 M2

    QMG 250 M3

    檢測器

    法拉第 Faraday (F)

    電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

    質量數 amu

    1–100

    1–200

    1–300

    1–100

    1–200

    1–300

    四極桿直徑/長度

    6 /125 mm

    最小檢測極限 F hPa *1,2

    4X10-13

    5X10-13

    7X10-13

    -

    -

    -

    最小檢測極限 M hPa *1,2

    -

    -

    -

    3X10-15

    4X10-15

    5X10-15

    對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

    5X10-4

    4X10-4

    3X10-4

    5X10-4

    4X10-4

    3X10-4

    最大工作壓力 F hPa

    5X10-4

    最大工作壓力 M hPa

    -

    -

    -

    5X10-5

    5X10-5

    5X10-5

    對臨近質量數的影響*1

    < 10 ppm

    < 20 ppm

    < 50 ppm

    < 10 ppm

    < 20 ppm

    < 50 ppm

    操作溫度 分析

    200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

    操作溫度 電子

    5 – 50 °C

    烘烤溫度 分析

    300 °C

    連接法蘭

    DN 40 CF-F

    保壓時間

    1 ms – 16 s/amu

    重量

    2.5 kg

    3.2 kg

    * 1  開放式離子源,
    * 2  停留時間 4秒
    *3   與C-SEM相比, 具有較高的靈敏度

    Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:
    pfeiffer PrismaPro


    Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:
    PrismaPro 殘余氣體分析儀
    Pfeiffer 殘余氣體分析儀結構視頻


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