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    干式真空泵 A4X 系列
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    干式真空泵 A4X 系列

    干式真空泵 A4X 系列
    上海伯東德國 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導體、光伏等腐蝕性強的行業,干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求,特殊的耐腐蝕工藝設計保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高,有效降低了企業成本。

    干式真空泵 A4X 系列核心優勢:
    耐腐蝕設計,使用壽命長
    通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標準
    特殊設計,避免真空泵發生爆裂或可冷凝物沉積
    配置氮氣吹掃閥,耐粉塵

    干式真空泵 A4X 系列應用
    半導體:(蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
    涂料行業:光伏和 LED

    干式真空泵 A4X 系列技術參數:

    型號

    A 124 H

    A 604 H

    A 1204 H

    A 204 H
    A 204 X

    A 804 H
    A 804 X

    A 1504 H
    A 1504 X

    A 1804 H
    A 1804 X

    抽速 m3/h

    110

    560

    1150

    160

    700

    1200

    1700

    極限真空
    (氮氣吹掃閥關閉) hPa

    2X10-2

    2X10-4

    9X10-4

    5X10-2

    2X10-3

    2X10-3

    2X10-3

    極限真空
    (氮氣吹掃閥50 SLM) hPa

    5X10-2

    6X10-3

    6X10-3

    2X10-1

    9X10-3

    9X10-3

    9X10-3

    全轉速最大進氣氣流 SLM

    80

    60

    55

    150

    100

    100

    70

    最大功率 KW

    1.5

    1.9

    2.3

    1.8

    2.2

    2.6

    2.6

    最大排氣壓力hPa

    1200

    1200

    1200

    1200

    1200

    1200

    1200

    進氣口 ISO-KF

    DN 50

    DN 100

    DN 160

    DN 50

    DN 100

    DN 160

    DN 160

    重量 kg

    250

    370

    530

    260

    380

    540

    540

     

    干式真空泵 A4X 系列抽速:
    上海伯東干式真空泵 Adixen

    上海伯東 Adixen 干式真空泵


     

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