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    干式真空泵 A 100 L,A 200 L
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    干式真空泵 A 100 L,A 200 L

    干式真空泵 A 100 L-A 200 L
    上海伯東銷售維修 Pfeiffer 干式真空泵(多級羅茨泵)A 100 L-A 200 L,用于潔凈制程的整體式干泵,緊湊設計,大抽速,低能耗,滿足半導體行業機臺內直接安裝和快速抽空的設計要求,是load-lock、傳送腔及其他非腐蝕性工藝的完美解決方案。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L排除了泵安裝中的真空管路影響,通過使用 Pfeiffer 整體式干泵,可降低真空管路安裝、集成和調試的成本。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L高可靠性和長期穩定性使其脫穎而出,現已廣泛應用于全世界范圍內的 300 mm 半導體工廠。

    干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障間隔時間超過 195000 小時,提供干燥無塵的潔凈真空,適合在無塵室中使用,整體式干泵也為太陽能光電設備提供最佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷型干泵的其他優勢,小巧的體積保證了其在大型機臺內集成的便利性,是各大設備廠商首選。

    干式真空泵 A 200 L是針對高氣流量應用的全新解決方案,抽速200 m3/h,再次展示出了其在整體式干泵市場中全球領導地位。

    上海伯東 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要優點
    高氣流量,大抽速
    結構緊湊,占地面積小
    易于集成,運行成本低
    低噪音和低震動,無油無塵
    即插即用系統:集成型監察裝置
    干式真空泵 RS232 / RS485 接口可選

    Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 應用行業
    Load-lock 和傳送腔
    半導體生產
    光伏
    工業(低溫,氣體制造,激光源)
    分析儀(用于電子顯微術或表面分析的閘室)

    Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技術參數

    型號

    進氣口尺寸 DN

    極限壓力 hPa

    抽速

    噪音比

    重量

    m3/h

    dB (A)

    kg

    A 100 L

    50

    6.6 X 10-3

    100

    58

    100

    A 100L ES

    50

    7 X 10-4

    100

    55

    100

    A 200 L

    50

    8 X 10-3

    200

    58

    100

    L:標準版本    ES:節能版本

    干式真空泵 A 100 L 標準版本
    冷卻水循環,在前端配置運行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。
    主要在售型號:
    A 100 L 標準版本,低電壓,16 針 I/O
    A 100 L 標準版本,低電壓,19 針 I/O
    A 100 L 標準版本,低電壓,RS232/485 接口,16 針 I/O
    A 100 L 標準版本,低電壓,RS232/485 接口,19 針 I/O
    A 100 L 標準版本,高電壓,16 針 I/O
    A 100 L 標準版本,高電壓,19 針 I/O
    A 100 L 標準版本,高電壓,RS232/485 接口,16 針 I/O
    A 100 L 標準版本,高電壓,RS232/485 接口,19 針 I/O

    A 100 L ES 節能版本
    緊湊型干泵集成節能模塊,有效減少了 50% 的耗電量。冷卻水循環,在前端配置運行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。  

    主要在售型號:
    A 100 L ES 節能版本,低電壓,16 針 I/O
    A 100 L ES 節能版本,低電壓,19 針 I/O
    A 100 L ES 節能版本,低電壓,RS232/485 接口,16 針 I/O
    A 100 L ES 節能版本,低電壓,RS232/485 接口,19 針 I/O
    Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速圖
    干式真空泵

    Pfeiffer 干式真空泵 ACP:上海伯東真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,我司是國內最早代理 Pfeiffer 產品的公司,100% 原裝進口并提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售后維修服務。

     

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