• <td id="haweh"></td>

    氦質譜檢漏儀 MOCVD 設備檢漏
    閱讀數: 4958

    氦質譜檢漏儀 MOCVD 設備檢漏

    氦質譜檢漏儀 MOCVD 設備檢漏
    MOCVD ( Metal-organic Chemical Vapor Deposition ) 是在氣相外延生長 (VPE) 的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術. MOCVD 是以Ⅲ族, Ⅱ族元素的有機化合物和V, Ⅵ 族元素的氫化物等作為晶體生長源材料, 以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延, 生長各種 Ⅲ-V族, Ⅱ-Ⅵ 族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料. 通常 MOCVD 系統中的晶體生長都是在常壓或低壓 (10-100Torr) 下通H2的冷壁石英 (不銹鋼)反應室中進行, 襯底溫度為 500-1200℃, 用直流加熱石墨基座 (襯底基片在石墨基座上方), H 2通過溫度可控的液體源鼓泡攜帶金屬有機物到生長區.
    MOCVD設備檢漏

    MOCVD 設備需要檢漏: 因為MOCVD生長使用的源是易燃, 易爆, 毒性很大的物質, 并且要生長多組分, 大面積, 薄層和超薄層異質材料. 因此在MOCVD系統的設計思想上, 必須考慮系統密封性.對于氣體的輸運系統, 管路和管道的接頭等存在泄漏可能的部位需要重點排查, 保證反應系統無泄漏是MOCVD設備組裝的關鍵之一.

    上海伯東 MOCVD 設備檢漏客戶案例一: 某公司通過 MOCVD 生長出來的發光材料, 用于制備 OLED 燈, 經過伯東推薦選用移動式氦質譜檢漏儀 ASM  390 + 遙控器, 方便系統檢漏操作.

    氦質譜檢漏儀 ASM 390

    檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 滿足半導體行業要求!
    檢測氣體: 4He, 3He, H2
    最小檢測漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
    吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
    對氦氣的抽速: 10 l/s
    前級泵抽速: 35 m3/h

    氦質譜檢漏儀 ASM 390 遙控器

    因為 MOCVD 的腔室都比較大, 焊接點偏多, 我們推薦客戶使用適用于遠程操作的無線遙控器, 方便用戶一個人邊噴氦氣的同時邊檢漏操作.

    上海伯東 MOCVD 設備檢漏客戶案例二: 某大型 LED 生產企業,共計采購24臺氦質譜檢漏儀 ASM 390 用于 MOCVD 設備檢漏.

    上海伯東
    MOCVD 設備檢漏客戶案例三: 某 LED 生產企業, 累積采購 6臺 ASM 340 用于設備檢漏
    MOCVD 需要檢漏位置: 所有懷疑有漏的地方都需要進行檢漏, 主要檢漏源供給, 輸運和尾氣處理系統(例如管路接頭、管道、焊縫等位置.
    根據客戶實際需要,MOCVD 檢漏基本配置:氦質譜檢漏儀 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下圖所示:
    伯東Pfeiffer MOCVD設備檢漏

    MOCVD設備檢漏方法:采用真空模式檢漏
    1. 將設備通過波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340,確認連接完畢
    2. 啟動 ASM 340, 進入待機界面; 初次啟動時間大約 3min, 以后啟動 < 1min
    3. 按下開始鍵, 先通過 bypass 閥門啟動干式真空泵 ACP 28抽真空, 到達一定壓力檢漏儀 ASM 340開始工作, 同時在設備懷疑有漏的地方噴氦氣; 若有漏, 檢漏儀馬上報警, 顯示該噴射點有漏.
    4. 檢測完畢, 按下檢漏儀待機鍵, 放氣, 關閉電源, 移除連接管路.

    結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>

    鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解 MOCVD 設備檢漏, 請參考以下聯絡方式
    上海伯東: 葉小姐                                  臺灣伯東: 王小姐
    T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
    M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                        ec@hakuto.com.tw
    上海伯東版權所有, 翻拷必究!

    其他產品
    亚洲性线免费观看视频成熟_中文字幕乱视频在线观看_日韩高清在线亚洲专区